多孔Al_2O_3电容式湿度传感器长期漂移的机理研究

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本文通过对多孔Al_2O_3薄膜的显微结构形貌和晶相组成的跟踪检测,观察了多孔Al_2O_3薄膜几何结构和晶相的经时变化.对其原因进行了探讨,从而对多孔Al_2O_3电容式湿度传感器响应的长期漂移机理进行了详细讨论,并指出了克服或改善这类湿度传感器漂移的方向. In this paper, the microstructure morphology and phase composition of porous Al 2 O 3 thin films were observed and tracked, and the geometric changes of the porous Al 2 O 3 thin films and the crystal phase were observed. The reasons were discussed. The porous Al 2 O 3 capacitive humidity sensors The long-term drift mechanism of response is discussed in detail and the direction of overcoming or improving the drifts of such humidity sensors is pointed out.
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