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甩干设备是半导体清洗工艺后的主要设备，阐述了甩干设备中颗粒产生的各种原因，并进行分析，提出了避免和减少颗粒的解决方案，降低甩干设备带来的颗粒污染。
甩干设备中的颗粒度分析
【摘 要】
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甩干设备是半导体清洗工艺后的主要设备，阐述了甩干设备中颗粒产生的各种原因，并进行分析，提出了避免和减少颗粒的解决方案，降低甩干设备带来的颗粒污染。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年2期
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