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本文对集成电路技术发展状况进行了分析,同时对超净高纯试剂在集成电路制作中应用情况进行了探究,以供参考.
集成电路制作技术的发展与超净高纯试剂的应用研究
【摘 要】
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本文对集成电路技术发展状况进行了分析,同时对超净高纯试剂在集成电路制作中应用情况进行了探究,以供参考.
【机 构】
：
苏州晶瑞化学股份有限公司,江苏 苏州,215124
【出 处】
：
中国战略新兴产业
【发表日期】
：
2019年12期
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