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硅基异质结构的研究郑宜钧（中国华晶电子集团公司）１引言１．１硅基异质结构的研究随着微电子技术应用要求越来越高，Ｓｉ器件的物理、电学性能极限显露越明显。因此，非常有必要寻求一种新的材料来替代；或者在硅的基础上异质生长一种新的结构材料。研究表明：以Ｓｉ为...
硅基异质结构的研究
【摘 要】
：
硅基异质结构的研究郑宜钧（中国华晶电子集团公司）１引言１．１硅基异质结构的研究随着微电子技术应用要求越来越高，Ｓｉ器件的物理、电学性能极限显露越明显。因此，非常有必要寻求一种新的材
【机 构】
：
中国华晶电子集团公司
【出 处】
：
电子科技导报
【发表日期】
：
1996年9期
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