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介绍了常规扫描电子显微镜（SEM）的工作原理、缺陷及采取的改进措施。由此发展起来的环境扫描电子显微镜（FSEM）的性能已大幅度提高，其使用范围和领域大为扩展。
常规扫描电子显微镜的特点和发展
【摘 要】
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介绍了常规扫描电子显微镜（SEM）的工作原理、缺陷及采取的改进措施。由此发展起来的环境扫描电子显微镜（FSEM）的性能已大幅度提高，其使用范围和领域大为扩展。
【机 构】
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合肥工业大学精密仪器系
【出 处】
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分析仪器
【发表日期】
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2000年01期
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