α—Ti3O5薄膜的制备及氧敏性能的研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a86406186

【摘要】

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α-TisO5是TiOx材料中相对较稳定的晶型,是一种潜在的氧敏材料.与传统的TiO2、ZrO2材料相比,具有阻温特性好的优点.本文通过H2还原TiO2来制备α-Ti3O5薄膜,研究了不同还原温

【作者】

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郑嘹赢李国荣徐廷献殷庆瑞

【机构】

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中国科学院上海硅酸盐研究所,天津大学材料学院

【出处】

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无机材料学报

【发表日期】

：

2002年6期

【关键词】

：

α-Ti3O5薄膜制备氧敏性能五氧化三钛氧敏材料 α-Ti3O5 film reduction oxygen sensing

【基金项目】

：

国家基金委重大项目(59995520-6)

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α-TisO5是TiOx材料中相对较稳定的晶型,是一种潜在的氧敏材料.与传统的TiO2、ZrO2材料相比,具有阻温特性好的优点.本文通过H2还原TiO2来制备α-Ti3O5薄膜,研究了不同还原温度和保温时间对薄膜晶相组成的影响以及薄膜的导电性、电阻-温度稳定性和在氧化气氛中的晶格稳定性.同时对α-Ti3O5薄膜的氧敏性能进行了初步研究.

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