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随着硅珊MOS器件的出现,多晶硅渐渐成为先进器件材料的主力军。文章主要对多晶硅刻蚀的特性进行研究,希望能够给相关人士一定的借鉴。
多晶硅刻蚀特性的研究
【摘 要】
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随着硅珊MOS器件的出现,多晶硅渐渐成为先进器件材料的主力军。文章主要对多晶硅刻蚀的特性进行研究,希望能够给相关人士一定的借鉴。
【机 构】
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中芯国际集成电路制造（天津）有限公司
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2014年02期
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