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甲基三氯硅烷是“直接法”合成二甲基二氯硅烷单体过程中的主要副产物，其规模化处理和综合利用是实现有机硅工业可持续发展的关键。本文介绍了国内外将甲基三氯硅烷通过歧化、转化反应法制备其它重要甲基氯硅烷单体的研究进展。其中歧化法主要有一甲与三甲、一甲与高、低沸物两种反应体系；转化反应则包括甲基（氢）氯化铝法、直接加氢法、氯代转化法等；评述了以上几种甲基三氯硅烷利用途径中不同方法的特点，并对甲基三氯硅烷歧化、转化综合利用的工业化前景进行了展望。