【摘 要】
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本文通过介绍掩埋栅SITH存在的优点和不足,提出了优化的掩埋栅型结构,并对其制造工艺进行具体讨论。静电感应晶闸管(SITH)是一种近年来发展起来的大功率两型半导体器件。它具
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本文通过介绍掩埋栅SITH存在的优点和不足,提出了优化的掩埋栅型结构,并对其制造工艺进行具体讨论。静电感应晶闸管(SITH)是一种近年来发展起来的大功率两型半导体器件。它具有开关速度快,功率损耗低,动态特性好等优点,因而受到人们的广泛重视。又由于SITH的最高工作温度不像传统晶闸管那样受电流流通机制的限制,在高温下仍具有正向阻断能力,并且具有低的正向压降。
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