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集成电路工业的废气有含氟化物和硫酸雾的酸性废气、含氨的碱性废气、含异丙醇和光刻胶的有机废气，含SiO2的含尘废气，以及含硅烷、磷烷的工艺尾气等，这些工业废气中大部分成分是有毒有害的，必须进行有效的处理才能排入大气中。本文主要讨论上述工业废气的分类、处理方式、应用范围及应用实例等。
集成电路工业的废气处理
【摘 要】
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集成电路工业的废气有含氟化物和硫酸雾的酸性废气、含氨的碱性废气、含异丙醇和光刻胶的有机废气，含SiO2的含尘废气，以及含硅烷、磷烷的工艺尾气等，这些工业废气中大部分成分是
【机 构】
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上海华虹NEC电子有限公司,上海交通大学微电子学院
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2008年2期
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