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用于纳米制造具有ｘｙｚ微定位的扫描探针显微镜张鸿海，曹伟，师汉民，陈日曜（华中理工大学）扫描探针显微镜已广泛用于纳米级尺度的检测，同时也能用于在半导体表面上产生纳米级的结构，即用于纳米级的制造技术。尽管纳米制造可用成像的ＳＰＭ来实现，但二者的设计要求...
用于纳米制造具有xyz微定位的扫描探针显微镜
【摘 要】
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用于纳米制造具有ｘｙｚ微定位的扫描探针显微镜张鸿海，曹伟，师汉民，陈日曜（华中理工大学）扫描探针显微镜已广泛用于纳米级尺度的检测，同时也能用于在半导体表面上产生纳米级的结构，即用于
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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