引信MEMS后坐机构的设计与实验

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通过受力分析并根据动能定理建立了影响后坐机构加速度as的关系式和动力学方程,得到弹性系数K、两侧齿之间竖直方向的间隙d、齿的斜边长a、齿底长c和齿数n的大小决定着as大小的结论。通过ADAMS软件仿真分析,得到运动方程和设计的合理性,并得到K、d、a、c、n与as的关系。仿真结果表明,在同等条件下,严格控制齿底长c的加工误差、减小错位间隙d、增大线宽b均能提高as。同时考虑增大齿数n来提高as。对采用LIGA工艺加工出的后坐机构进行模拟实验,验证了仿真分析的合理性和加工误差的影响,同时验证了设计和运动方程
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