微机械制造技术原理分析与技术发展趋向研究

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微机械是在20世纪八十年代后期发展起来的一门新型学科,随着社会经济的进步,集成电路实现了大规模发展,在某种程度上促进了电路微细加工技术和超精密加工技术优化,特别是促进了微机械技术.文章对微机械制造技术原理和该技术的应用及未来发展方向进行分析.
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