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对角锥棱镜用于激光直线度测量时可使测量精度提高一倍的光学特性进行了分析.分析了角锥棱镜的制造角差、面形误差和测量过程中角锥棱镜的偏摆、俯仰、滚转对直线度测量的影响.用实验验证了分析结果.分析结果为角锥棱镜用作激光直线度测量时的误差分析和误差补偿提供了理论依据.
角锥棱镜用于激光直线度测量的特性分析
【摘 要】
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对角锥棱镜用于激光直线度测量时可使测量精度提高一倍的光学特性进行了分析.分析了角锥棱镜的制造角差、面形误差和测量过程中角锥棱镜的偏摆、俯仰、滚转对直线度测量的影
【机 构】
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北京交通大学
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2004年期
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