【摘 要】
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微波光子芯片是支撑微波光子学发展的基石。针对微波光子芯片材料体系多样、难以多功能集成等问题，异质/异构集成技术提供了一种有效途径。该技术可将不同材料体系的最优性能器件集成到同一芯片上，大大扩展微波光子芯片的功能，降低微波光子功能模块的体积、重量，并提高其性能稳定性。本文介绍了目前主流的微波光子异质/异构集成技术和光电混合集成方面的主要研究进展，并对未来发展趋势进行展望。
【机 构】
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微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室
【基金项目】
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国家重点研发计划（2022YFB280272）； 江苏省产业前瞻技术研发项目（BE2021030）；
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微波光子芯片是支撑微波光子学发展的基石。针对微波光子芯片材料体系多样、难以多功能集成等问题，异质/异构集成技术提供了一种有效途径。该技术可将不同材料体系的最优性能器件集成到同一芯片上，大大扩展微波光子芯片的功能，降低微波光子功能模块的体积、重量，并提高其性能稳定性。本文介绍了目前主流的微波光子异质/异构集成技术和光电混合集成方面的主要研究进展，并对未来发展趋势进行展望。
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