Parylene增强型声表面波传感器及其温度响应

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 1次 | 上传用户：HalfHour

【摘要】

：

针对声表面波(SAW)传感器对品质因数、寿命和成本的要求,研制了Parylene增强型SAW传感器。根据金属剥离工艺要求,利用LOR剥离胶和AZ5214光刻胶双层胶旋涂工艺制作了梯形结构;在传统光学光刻条件下制作了2μm的超细叉指电极。传感器制作过程利用了MEMS工艺,不仅实现了传感器的微型化,还可以批量化生产,得到的以石英为基底的传感器谐振频率达到249.077 953 MHz。最后在传感器的表

【作者】

：

李敬潘海曦郭振李传宇姚佳周连群

【机构】

：

中国科学院苏州生物医学工程技术研究所,中国科学院大学材料科学与光电技术学院,西北工业大学材料科学与工程学院

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2017年12期

【关键词】

：

声表面波(SAW)传感器倒梯形结构金属剥离 Parylene增强温度 Surface Acoustic Wave（SAW）sensortrapezoida

【基金项目】

：

国家863高技术研究发展计划资助项目（No.2015AA042603）

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