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微执行器是微电子机械系统中一个重要的分支，本文讨论了微执行器中的微电机、微发电机和微涡轮发动机。
微电机和微动力MEMS
【摘 要】
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微执行器是微电子机械系统中一个重要的分支，本文讨论了微执行器中的微电机、微发电机和微涡轮发动机。
【机 构】
：
清华大学;
【出 处】
：
电子科技导报
【发表日期】
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1999年12期
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