切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
工作气氛和偏压对含铁聚合物杂混薄膜制备的影响
工作气氛和偏压对含铁聚合物杂混薄膜制备的影响
来源 :合成化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bladehit
【摘 要】
:
采用等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积(PEMOCVD)工艺,在氧化性气氛(O2)和非氧化性气氛(H2、Ar)中制备了含铁聚合物杂混薄膜。探讨了工作气氛和偏压对膜密度、沉积速率及其分布的影响。
【作 者】
:
文晓刚
曹伟民
【机 构】
:
中国科学院成都有机化学研究所
【出 处】
:
合成化学
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
工作气氛
含铁聚合物
杂混薄膜
PEMOCVD
Workinggas
Bias
Densityoffilms
Depositionrate
Fecontaini
【基金项目】
:
国家自然科学基金
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积(PEMOCVD)工艺,在氧化性气氛(O2)和非氧化性气氛(H2、Ar)中制备了含铁聚合物杂混薄膜。探讨了工作气氛和偏压对膜密度、沉积速率及其分布的影响。
其他文献
溴醇法合成环氧苯乙烷的研究
研究了溴醇法合成环氧苯乙烷原料配比和添加催化剂对收率的影响,当NaBr的添加量为化学反应计量时,在添加催化剂的最佳反应条件下,收率可达80.6(含量97.5%),将NaBr溶液回收套用3次,当苯乙烯加料量为1mol时,获
期刊
溴醇法
苯乙烯
环氧苯乙烷
合成
原料配比
Styrene bromohydrin
Styrene
Styrene oxide.
浅谈电气开关柜质检员的职责
在整个电气开关柜的生产过程中,质检员的责任重大。不但要有相关的资格证书,更要了解日常工作的职责。一些硬性的检验规则与实际检验工作不能紧密结合,导致质检员经常发生错
期刊
检验流程
试验方法
职责
高校、社区与“时间银行”在青少年教育中的联动研究
社区是当前我国青少年进行课外活动的主要场所之一,对于青少年的成长来说,社区教育具有十分重要的作用。青少年是我们国家的未来,因而如何通过社区教育来提高青少年的综合素
会议
"时间银行"
青少年教育
高校
社区
城乡融合期增减挂钩政策的完善建议——以武汉市为例
本文对武汉市过去七年来实施的城乡建设用地增减挂钩项目进行全面调查摸底,对其实施驱动机制进行归纳总结,分析存在的主要问题,并在城乡融合发展、农用地大规模流转的背景下,
会议
城乡融合
增减挂钩
运作模式
驱动机制
支架理论在对外汉语口语课堂中的应用
随着"一带一路"战略的进一步推进,国家间的政治文化交流、贸易往来等不断增强,全球汉语热的升温推动了汉语国际教育的迅速发展。在交际中熟练运用汉语是学习者的最终目标,而
期刊
支架理论
对外汉语
口语教学
200~400元价格带:机会还是陷阱?——200~400元价格空间谁来真补?
价格定位在白酒操作上占据着重要地位。从白酒发展的历史看,不同时期的成功品牌都与准确和极具创新意识的价格定位密切相关。
期刊
价格定位
陷阱
空间
创新意识
白酒
碳化硅环形金刚石线锯加工的裂纹研究
碳化硅晶体硬度高,属于难加工材料,环形金刚石线锯加工具有切缝窄、加工效率高、加工质量好、能加工硬度高尺寸大的脆性材料的优势。根据锯丝磨粒的分布特点,给出了单颗磨粒锯切
期刊
碳化硅晶体
环形线锯
裂纹
SiC crystal endless wire saw crack
印度的富人
印度是当今世界贫富差距最大的国家之一,有一半左右的人口饱受缺衣少食之苦。无数的穷人沿街行乞,露宿街头。然而,就是这个拥有众多乞丐的国家也拥有很多富人,他们当中有商人、实
期刊
印度
参政意识
贫富观念
投资项目
生活方式
富人
一种基于能量特征的声纳目标跟踪方法
<正>0引言随着海洋战场环境的日益复杂,目标检测跟踪技术的实现难度也越来越大。对于被动警戒跟踪,强干扰对弱目标的影响可以长达数十秒甚至更久,这使得弱目标持续跟踪变得异
会议
圆锯片基体失稳的应力分析
圆锯片(基体)失稳是锯片使用过程中最常见的问题,而切向压应力是导致基体失稳的根本原因。提出了基体稳定性指标——临界应力及其计算方法,得出临界应力正比于基体厚度与半径之比
期刊
圆锯片
失稳
应力分析
circular blade unstability stress analysis
与本文相关的学术论文