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为了满足压印光刻中套刻对准精度的要求，提出了一种基于光闸莫尔原理的粗精两步对准方法。设计了粗精两种对准标记，十字标记作为粗对准标记，等节距的光栅标记作为精对准标记。考虑到实际中通常采用分区步进压印工艺，因此在基片上的每一个压印分区都设计有相应的对准标记。分析了基于该方法的对准原理，得到了光刻机三坐标矢量与检测信号之间的对应关系，证明了该方法可实现X、Y、θ三个方向的对准误差检测。在实际应用中，可将该误差信号作为控制系统的驱动信号，对承片台实行闭环控制，实现对准。该方法对压印光刻乃至其它光刻技术中的套刻对准