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提出一种硅基相控阵子阵微系统三维集成架构，采用硅通孔，圆片级键合等微机电系统技术和70%高硅铝合金（Si-Al）、纳米银胶等先进材料，实现了一体化可扩展相控阵子阵微系统样件并进行了测试。测试结果表明微系统的性能满足大功率、小型化和高集成的应用需求。
硅基三维集成相控阵子阵微系统
【摘 要】
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提出一种硅基相控阵子阵微系统三维集成架构，采用硅通孔，圆片级键合等微机电系统技术和70%高硅铝合金（Si-Al）、纳米银胶等先进材料，实现了一体化可扩展相控阵子阵微系统样件并进行了测试。测试结果表明微系统的性能满足大功率、小型化和高集成的应用需求。
【机 构】
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上海无线电设备研究所
【出 处】
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制导与引信
【发表日期】
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2022年02期
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