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长波长线列碲镉汞焦平面器件拼接工艺研究
长波长线列碲镉汞焦平面器件拼接工艺研究
来源 :激光与红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wwangruir
【摘 要】
:
长波5000元长线列碲镉汞焦平面器件由5个长波1000元混成芯片在拼接基板上交错排列组成。本文采用拼接互连设备的正贴方法进行单模块与拼接基板的拼接,试验结果表明:该拼接方
【作 者】
:
谢珩
东海杰
张懿
【机 构】
:
华北光电技术研究所
【出 处】
:
激光与红外
【发表日期】
:
2017年01期
【关键词】
:
长波
长线列
碲镉汞
红外焦平面
拼接工艺
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长波5000元长线列碲镉汞焦平面器件由5个长波1000元混成芯片在拼接基板上交错排列组成。本文采用拼接互连设备的正贴方法进行单模块与拼接基板的拼接,试验结果表明:该拼接方法的拼接位置精度在X和Y轴方向均小于8μm,在Z轴方向小于15μm,满足需求。
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