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综述了国内外ＣＶＤ金刚石膜抛光技术的最新进展，介绍了不同抛光方法的加工机理以及工艺性能的特点。
CVD金刚石膜抛光技术
【摘 要】
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综述了国内外ＣＶＤ金刚石膜抛光技术的最新进展，介绍了不同抛光方法的加工机理以及工艺性能的特点。
【机 构】
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广东工业大学
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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1999年11期
【基金项目】
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国家自然科学基金,,广东省自然科学基金
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