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金属膜与金属半导体系的脉冲退火
金属膜与金属半导体系的脉冲退火
来源 :国外金属热处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:anysome_921
【摘 要】
:
作者对稳定状态和脉冲方式下退火的金属膜组织转变作过比较。叶在脉冲退火之后金属半导体系相变的独特性能和电子物理性能进行了研究。
【作 者】
:
谭家骏
【机 构】
:
北京工业大学
【出 处】
:
国外金属热处理
【发表日期】
:
1994年6期
【关键词】
:
金属膜
金属半导体
退火
脉冲退火
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作者对稳定状态和脉冲方式下退火的金属膜组织转变作过比较。叶在脉冲退火之后金属半导体系相变的独特性能和电子物理性能进行了研究。
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