【摘 要】
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采用由金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流钛、碳离子对H13钢进行表面改性研究.钛和碳离子注入剂量分别为3×1017和1×1017 cm-2,引出电压分别为48和30kV,平均束流密度分别为4
【机 构】
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南通工学院物理部,北京师范大学射线束和材料工程教育部重点实验室
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采用由金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流钛、碳离子对H13钢进行表面改性研究.钛和碳离子注入剂量分别为3×1017和1×1017 cm-2,引出电压分别为48和30kV,平均束流密度分别为47和20μA·cm-2.为了保持相同的摩擦磨损实验条件,注入过程中采用掩蔽注入技术.摩擦磨损实验结果表明,钛离子注入H13钢提高了其耐磨性,并大幅度降低其摩擦系数.利用卢瑟福背散射谱测量了离子注入表面的成分,并采用逐层递推法得出了钛在H13钢中的浓度深度分布,借助掠面x射线衍射考察了注入表面的相结构.
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