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设计了正交实验,探究了腐蚀温度、辊筒转速、鼓泡时间、提臂摇动速率与腐蚀速率和TTV变化的影响;发现酸腐蚀过程中,宜设置适中的温度、较长的鼓泡时间以保证腐蚀速率和几何参数。
硅片酸腐蚀影响因素的正交实验
【摘 要】
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设计了正交实验,探究了腐蚀温度、辊筒转速、鼓泡时间、提臂摇动速率与腐蚀速率和TTV变化的影响;发现酸腐蚀过程中,宜设置适中的温度、较长的鼓泡时间以保证腐蚀速率和几何参
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2017年4期
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