【摘 要】
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利用液相外延法（LPE）在n型GaSb衬底上成功制备了用于热光伏电池的Ga1-xInxAsySb1-y四元合金薄膜.通过原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行了分析评价.X射线能谱（EDAX）分析表明四元
【机 构】
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室
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利用液相外延法（LPE）在n型GaSb衬底上成功制备了用于热光伏电池的Ga1-xInxAsySb1-y四元合金薄膜.通过原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行了分析评价.X射线能谱（EDAX）分析表明四元合金薄膜的成分为x=0.2,y=0.17.红外傅里叶变换透射谱分析表明,其室温下的吸收截止波长为2.256μm,对应禁带宽度为0.55eV.室温下的霍尔测试结果表明外延膜具有良好的电学性能,其非故意掺杂的薄膜表现为p型,载流子浓度为6.1×10^16cm^-3,迁移率为512cm2/（V·s
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