塑封高压硅堆台面化蚀工艺浅探

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:starrydzf_01
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TV用塑封高压硅堆因具有体积小、性能稳定、价格经济一系列优点而应用广泛.它是彩电国产化中关键的半导体器件,而化蚀工艺直接影响该产品的质量,掌握好化蚀工艺,才能造出高水平的产品.如何控制好硅堆的台面形状,提高化蚀质量是工艺人员碰到的实际问题.在工作中,遇到一些异常现象.现与同志们探讨如下:TV用塑封高压硅堆管芯一般采用如图1所示方法形成.→烧叠片→分割管芯→焊引线→化蚀→表面保护→图1化蚀前管芯结构如图2 Because of its advantages of small size, stable performance and economical price, TV plastic high-voltage silicon stacks are widely used as a key semiconductor device in the localization of color television sets, and the chemical etching process directly affects the quality of the product, , In order to create a high level of products.How to control the shape of the silicon pile countertops to improve the quality of corrosion is technically encountered practical problems in the work, we encounter some anomalies. Now with my colleagues are discussed as follows: TV Molded high-voltage silicon pile die is generally formed using the method shown in Figure 1. → Burning chip → split die → soldered lead → chemical etching → surface protection → Figure 1 before etching the die structure shown in Figure 2
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