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采用多弧离子镀技术,探究靶材成分对膜层性能的影响,从而得到最佳的靶材成分.在同种工艺条件下,得到不同靶材成分时膜层的形貌与性能,分析靶材成分对膜层形貌、膜基结合力及显微硬度的影响.实验结果表明,由于膜层中Ti和Al元素含量的不同,膜层的性能都会发生相应改变,一般是随着Al含量的增加先升高后降低.