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不同工艺制备的氟化镁材料对真空镀膜的影响
不同工艺制备的氟化镁材料对真空镀膜的影响
来源 :稀有金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户:freeman_1982
【摘 要】
:
用三种不同工艺制得的氟化镁为镀膜材料,考察了不同材料的结构对镀膜工艺和薄膜光学性能折射率的影响,并就其影响的原因进行了宏观分析,为选择高质量的镀膜材料提供了理论依据。
【作 者】
:
王武育
孙平
【机 构】
:
北京有色金属研究总院,北京师范大学物理系
【出 处】
:
稀有金属
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
真空镀膜
氟化镁
光学材料
MgF2
Vacuum plating
Refraction index
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用三种不同工艺制得的氟化镁为镀膜材料,考察了不同材料的结构对镀膜工艺和薄膜光学性能折射率的影响,并就其影响的原因进行了宏观分析,为选择高质量的镀膜材料提供了理论依据。
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