溶胶—凝胶法制备LiNbO3薄膜的研究

来源 :硅酸盐学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kyuiyigjghj
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对近年来有关溶胶-凝胶法制备LiNbO3薄膜的研究进行了较详细的综述, 分析讨论了在溶胶-凝胶法制备LiNbO3薄膜过程中, 各主要因素对LiNbO3薄膜制备的影响, 简要地介绍了LiNbO3薄膜的一些性能. 研究结果表明, 目前可以用溶胶-凝胶法在蓝宝石及LiTaO3等基板(基板的晶格参数与LiNbO3的晶格参数失配较小)上制备出有光学应用的LiNbO3薄膜, 制膜的热处理温度通常在500 ℃左右. 讨论了溶胶-凝胶法制备LiNbO3薄膜过程中存在的主要问题、发展前景及今后的研究方向.
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