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基于现有多丝切割的理论难以解决实际加工中的工艺问题，引入了BP神经网络对切割加工工艺进行建模，经学习与训练，实例模型误差较小。
晶圆多丝切割加工工艺参数的BP建模
【摘 要】
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基于现有多丝切割的理论难以解决实际加工中的工艺问题，引入了BP神经网络对切割加工工艺进行建模，经学习与训练，实例模型误差较小。
【机 构】
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上海大学机电工程与自动化学院
【出 处】
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常熟理工学院学报
【发表日期】
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2008年4期
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