【摘 要】
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采用固相反应法制备低温烧结Ca5Mg4(VO4)6微波介质陶瓷,研究了Co掺杂取代Mg对微波介电性能的影响.结果表明:Co取代后样品形成了固溶体,导致烧结温度降低.当相对密度较低时,致
【机 构】
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电子科技大学电子科学与工程学院,成都610054;电子科技大学电子科学与工程学院,成都610054;电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054;国家电磁辐射控制材料工程技术研究中心,成都610
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采用固相反应法制备低温烧结Ca5Mg4(VO4)6微波介质陶瓷,研究了Co掺杂取代Mg对微波介电性能的影响.结果表明:Co取代后样品形成了固溶体,导致烧结温度降低.当相对密度较低时,致密度主导着εr的变化;当相对密度较高时,εr主要受单位体积离子极化率的影响.此外,Co取代使得晶粒尺寸减小,进而促进了Q×f值的提升.由于τf与键能有着密切的联系,而V—O键的键能最大,τf随着V—O键键能的变化而改变.Ca5Mg3Co(VO4)6具有最佳的微波介电性能:εr=9.65,Q×f=54 685 GHz,τf=-55.3×10-6℃-1.
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