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用一系列生成元模拟了具有不同特征的、与原子力显微镜图像相似的规则粗糙表面.详细讨论了规则粗糙表面多重分形谱参数的意义.并通过与方均根粗糙度(rms)和简单分形维数D0的比较,描述了多重分形分析的优点.最后用多重分形的方法分析了由AFM测量的ZnO薄膜和高聚物PtBuA薄膜的表面形貌.