应用于微结构制造自治系统的流水线作业调度

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在微结构制造自治系统中,作业调度起到至关重要的作用。当前大多数的IC作业调度都是基于组合优化技术的,与以往这些工作不同,本文提出了一种新的基于流水线的调度方案。流水线对于串行作业来说能够达到最佳的运行效率,因此获取最优调度方案问题的关键即在于对IC制造设施进行配置,使之成为流水线。本文对于流水线调度的基本算法进行了讨论。对一个实例进行了基于流水线技术的调度,结果表明多数机器都能够达到100%的最高运行效率。本文所开发的一个调度模拟程序,除了对流水线运行的情况进行模拟外,还能够用作实际的调度器,进行最优化作业调度。
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