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通过分析在线测量系统中触发式测头测量结果的误差组成元素及其产生的原因,建立了测头标定的数学模型,通过最小二乘法进行解算并进行了标定实验,提出通过对测头半径进行补偿来减小测量误差的新方法计算各法矢方向的误差值,然后对测头进行半径误差补偿的方法来提高测量精度。实验证明,该方法补偿效果良好,在一定程度上提高了在线测量精度。