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本文研究6寸蓝宝石衬底表面清洁度的优化工艺,探讨清洗工艺对其影响清洁度的主要因素以及测试毛刷材质对清洗的影响,引用了双流体喷雾与物理及化学相结合的清洗方式,使表面残留颗粒数降低至约21颗。本研究揭露了相关清洗方法与参数,可提供批量生产时的参考。
6寸蓝宝石衬底清洁优化工艺的研究
【摘 要】
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本文研究6寸蓝宝石衬底表面清洁度的优化工艺,探讨清洗工艺对其影响清洁度的主要因素以及测试毛刷材质对清洗的影响,引用了双流体喷雾与物理及化学相结合的清洗方式,使表面残
【机 构】
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福建晶安光电有限公司
【出 处】
：
清洗世界
【发表日期】
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2020年2期
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