【摘 要】
：
通过改变磁控溅射过程中氩气与氮气(Ar/N2)的分压比,制备了多种不同厚度的Si90Al10Nx薄膜样品,并采用透射率轮廓法对样品在热处理前后的光学性能(包括折射率和消光系数)进行
【机 构】
：
浙江中力节能玻璃制造有限公司,中国计量学院物理系,
论文部分内容阅读
通过改变磁控溅射过程中氩气与氮气(Ar/N2)的分压比,制备了多种不同厚度的Si90Al10Nx薄膜样品,并采用透射率轮廓法对样品在热处理前后的光学性能(包括折射率和消光系数)进行了测量和分析。结果表明,样品的光学性能可通过调整Ar/N2的流量比、薄膜厚度、退火条件等工艺参数加以控制。
A series of Si90Al10Nx thin films with different thickness were prepared by changing the partial pressure ratio of argon to nitrogen (Ar / N2) during the magnetron sputtering. The optical properties (including refractive index Rate and extinction coefficient) were measured and analyzed. The results show that the optical properties of the samples can be controlled by adjusting the Ar / N2 flow ratio, the film thickness, annealing conditions and other process parameters.
其他文献
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
公共交通网络越密集,理应给乘客更高效方便的乘车体验,但香港九龙巴士公司(KMB,简称“九巴”)却发现现实并未如他们所愿:根据他们的统计数据,2007年香港市内巴士的平均行驶速
在化学教学中适时融入化学史的内容,可使学生掌握化学发展的规律,提高学生发现、分析和解决问题的能力,同时还能加强对学生思想素质、科学文化素质和开拓创新素质等多方面的
用碧护(0.136％赤·吲乙·芸苔)植物生长调节剂1.5、1.0、0.5 kg/L质量浓度处理喷施3次,可有利于提高“新梨7号”叶绿素生长,叶面增绿光洁、树体健状.根据方差分析,绿素生长比
本文采用能量过滤磁控溅射技术(Energy Filter Direct Magnetron Sputtering,EFDMS),通过改变沉积温度在玻璃衬底上制备了一系列TiN薄膜。利用XRD进行了物相鉴定,使用分光光
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
曹人杰是“红星”牌宣纸、“红旗”牌宣纸的第一批创始人之一。本文介绍曹氏宣纸的起源以及曹人杰传承宣纸技艺的经历。
Cao Renjie is one of the first founders of “Red
正如人们在展会前所预计的那样,与第七届世界印刷大会同期 举办的CHINA PRINT2001第五届北京国际印刷技术展览会,的确让观众耳目一新:无论是展会的规模,还是展示的设备和技术
对邯郸市果树春季冻害特征进行观测分析,得出结论:重灾区主要分布在山谷底部或地势低洼地带;严重受冻的核桃雄花序全部变黑,梨花子房内变黑,丧失结果功能;灾后及时采取措施,
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥