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采用电子束反应蒸发法(REBE)生长钴掺杂的氧化锌(Zn1-xCoO x=0.1)薄膜,研究薄膜的铁磁特性.对Zn1-xCoxO薄膜的磁特性测量结果表明:薄膜具有室温(300K)铁磁性;Zn1-xCoxO薄膜,无论外部磁场平行或垂直于薄膜平面,其室温矫顽力均仅为6~7G,呈现典型的稀磁及磁各向同性特征;而对于多晶Zn1-CoxO薄膜,其室温矫顽力在200~370G之间展示出显著的磁化各向异性特征;同时讨论了薄膜的铁磁性起源及其各向异性机理.