【摘 要】
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研究了不同腐蚀溶液体系下铟砷镓锑（InAs/GaSb）二类超晶格材料的湿法腐蚀工艺。根据腐蚀效果选择了由柠檬酸（C_6H_8O_7）、磷酸（H_3PO_4）、过氧化氢（H_2O_2）构成的混合腐蚀液。这种腐
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研究了不同腐蚀溶液体系下铟砷镓锑（InAs/GaSb）二类超晶格材料的湿法腐蚀工艺。根据腐蚀效果选择了由柠檬酸（C_6H_8O_7）、磷酸（H_3PO_4）、过氧化氢（H_2O_2）构成的混合腐蚀液。这种腐蚀液对InAs/GaSb材料腐蚀速率稳定,腐蚀后表面光滑,且下切效应小。同时,研究了该成分腐蚀液不同腐蚀液温度、浓度和各成分配比等条件对InAs/GaSb材料腐蚀速率,形貌和钻蚀情况的影响。根据实验结果配制了体积比为1∶1∶1∶40的柠檬酸（50%）：磷酸（85%）：过氧化氢（31%）：水的腐蚀溶液,室
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