多孔硅还原铜纳米复合薄膜的微结构研究

来源 :华北水利水电学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dropmylove

【摘要】

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利用扫描电镜（SEM）、XRD等分析手段对比研究了铁钝化多孔硅在沉积前与沉积后的结构变化特点以及沉积时间对所沉积的铜薄膜结构的影响.在浸渍一定时间后,铜/铁钝化多孔硅纳米复

【作者】

：

李幸福杨晓辉贾敏宋小燕

【机构】

：

华北水利水电学院

【出处】

：

华北水利水电学院学报

【发表日期】

：

2006年1期

【关键词】

：

铁钝化多孔硅规则阵列浸渍镀膜技术铁钝化多孔硅/铜纳米复合薄膜 iron passivated porous silicon regular array i

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利用扫描电镜（SEM）、XRD等分析手段对比研究了铁钝化多孔硅在沉积前与沉积后的结构变化特点以及沉积时间对所沉积的铜薄膜结构的影响.在浸渍一定时间后,铜/铁钝化多孔硅纳米复合薄膜继承了新鲜制备的铁钝化多孔硅的结构特点,同时,随着反应时间的延长,铜的沉积量逐渐增加,铜纳米颗粒的平均晶粒尺寸逐渐长大.

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