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研究了Al2O3陶瓷试件的超声振动研磨特征，分析超声研磨中加工参数与试件材料去除率的关系。经研究得出：在相同的加工条件下，超声振动研磨加工比普通研磨加工，材料去除效率高，去除率随工件转速的增加而增加，随着转速的增加，去除率的斜率有所下降；保证材料去除率达到最大的研磨压力存在一个最佳值；粗粒度油石研磨加工去除效率较细粒度的高；细磨粒油石超声研磨工件表面粗糙度值小于粗磨粒研磨工件。同时与普通研磨相比较，超声研磨加工不仅效率高、且加工工件表面粗糙度值较小。