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文章介绍了一种新型的微质量传感器,通过测量QCM的谐振频率变化得出在QCM传感器表面吸附的微质量变化。文章还详细介绍了QCM传感器的设计和夹具的结构设计,并用ANSYS 9．0对QCM传感器进行了三维有限元建模,分析了电极尺寸对有限元谐振元振动特性的影响,提出了优化设计的方案,最后进行了实验。实验结果与理论值基本相同,从而证明了结构设计的合理性。