【摘 要】
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随着军事、航天、航空等领域的发展,红外探测器正向超大面阵、超长线列方向发展,对红外探测器封装杜瓦提出了高可靠、长寿命和轻量化的要求.本文介绍了国内外杜瓦真空寿命的研究进展,部分杜瓦可实现10年以上的真空寿命.分析了影响红外探测器杜瓦真空寿命的因素,包括杜瓦漏气、杜瓦材料放气及气体渗漏等.总结了提高杜瓦真空寿命的手段,最后给出了红外探测器组件发展中需要注重研究的相关技术.
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所 传感技术国家重点实验室,上海 200083;中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,上海 200083;中国科学院大学,北京 100049;中国科学院
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随着军事、航天、航空等领域的发展,红外探测器正向超大面阵、超长线列方向发展,对红外探测器封装杜瓦提出了高可靠、长寿命和轻量化的要求.本文介绍了国内外杜瓦真空寿命的研究进展,部分杜瓦可实现10年以上的真空寿命.分析了影响红外探测器杜瓦真空寿命的因素,包括杜瓦漏气、杜瓦材料放气及气体渗漏等.总结了提高杜瓦真空寿命的手段,最后给出了红外探测器组件发展中需要注重研究的相关技术.
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