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报道利用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸缩小甘油酯共聚物研制AWG波分复用器,对其原理、设计及制作工艺进行了研究.设计出AWG版图,利用铅掩模技术及反应离子刻蚀工艺完成了聚合物AWG制作.实验结果表明,制备的波导实现了单模传输.
硅基聚合物AWG波分复用器研究
【摘 要】
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报道利用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸缩小甘油酯共聚物研制AWG波分复用器,对其原理、设计及制作工艺进行了研究.设计出AWG版图,利用铅掩模技术及反应离子刻蚀工艺完成了聚合物AWG制作.实验结果表明,制备的波导实现了单模传输.
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(长春);集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区(长春)
【出 处】
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第四届全国光学学术会议
【发表日期】
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2002年12期
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