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针对微电容加速度计一阶固有频率和横向抗干扰能力进行多目标拓扑优化设计，建立了微电容加速度计弹性梁和质量块的一阶固有频率最大和横向抗干扰能力最强的多目标结构拓扑优化模型，以体积比作为约束条件，采用优化准则算法进行迭代求解，获得在不同权值下的微加速度计弹性梁和质量块的多种优化的结构拓扑形式，计算结果表明．通过多目标结构拓扑优化设计可以有效地提高微电容加速度计的综合性能．