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期刊论文
高性能微机械陀螺接口电路研究
高性能微机械陀螺接口电路研究
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bkguo2008
【摘 要】
:
微机械陀螺输出信号非常微弱,从系统角度对其接口电路进行研究,采用闭环驱动,通过改善驱动信号稳定性及陀螺输出端接口电路,系统性能得到较大提高,改善后系统灵敏度9.8mV/^(·)
【作 者】
:
王慧泉
郁发新
金仲和
郑旭东
陈永
焦继伟
王跃林
【机 构】
:
浙江大学信电系半导体光电子研究所,上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
2006年4期
【关键词】
:
微机械陀螺
闭环驱动
自动增益控制
差分电容
MEMS gyroscope
close-loop driven
automatic gain control
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微机械陀螺输出信号非常微弱,从系统角度对其接口电路进行研究,采用闭环驱动,通过改善驱动信号稳定性及陀螺输出端接口电路,系统性能得到较大提高,改善后系统灵敏度9.8mV/^(·)·s^-1,非线性度0.43%,分辨率达180°/h。
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