【摘 要】
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自从Setaka等人实现了在低温低压下,用化学气相沉积法合成金刚石薄膜以来,金刚石薄膜的合成、性质及应用研究均取得重大进展。金刚石薄膜具有优异的电学、光学、声学、热学和
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自从Setaka等人实现了在低温低压下,用化学气相沉积法合成金刚石薄膜以来,金刚石薄膜的合成、性质及应用研究均取得重大进展。金刚石薄膜具有优异的电学、光学、声学、热学和机械性能,它是一种有非常广阔应用前景的新型功能材料。金刚石薄膜的高化学稳定性、高弹性模量（比金属镍高一个量级）、相对低的密度（和铝差不多）以及低的热膨胀系数(它几乎低于已知的各种材料,约为0.8×10<sup>-8</sup>/℃),用它作用声学材料,具有其它材料不可比拟的优势。
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