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在LCD生产中,从平板靶溅射ITO已是一项非常成熟的工艺,但如果转而采用旋转柱状靶,则可大大降低镀膜基板的成本.
液晶显示用玻璃的ITO镀层
【摘 要】
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在LCD生产中,从平板靶溅射ITO已是一项非常成熟的工艺,但如果转而采用旋转柱状靶,则可大大降低镀膜基板的成本.
【出 处】
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现代显示
【发表日期】
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2004年期
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