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本征层为InxGa1-xN结构柔性太阳能电池研究

来源 :中国科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户：smalleye
【摘 要】
：
本文研究一种可调带隙量子阱结构的柔性衬底太阳能电池及制备方法。本论文研究的太阳能电池具体结构是：Al电极／GZO／P型nc-Si：H／I层本征InxGa1-xN／N型nc-Si：H／GZO／Al背电极／AlN／PI柔性衬
【作 者】
：
苗丽华 张东 赵琰 李昱材 
【机 构】
：
沈阳医学院基础数理教研室,沈阳工程学院新能源学院
【出 处】
：
中国科技信息
【发表日期】
：
2014年16期
【关键词】
：
太阳能电池 结构柔性 本征层 NC-SI H薄膜 ECR-PEMOCVD 透明导电薄膜 量子阱结构 制备方法 
【基金项目】
：
辽宁省教育厅科学研究一般项目（L2012374）
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本文研究一种可调带隙量子阱结构的柔性衬底太阳能电池及制备方法。本论文研究的太阳能电池具体结构是：Al电极／GZO／P型nc-Si：H／I层本征InxGa1-xN／N型nc-Si：H／GZO／Al背电极／AlN／PI柔性衬底；其制备方法是首先磁控溅射制备AlN绝缘层和Al背电极，然后采用ECR-PEMOCVD依次沉积GZO基透明导电薄膜、N型nc-Si：H薄膜、InxGa1-xN量子阱本征晶体薄膜、P型nc-Si：H薄膜、GZO基透明导电薄膜，最后制备金属Al电极。由于本征层InxGa1-xN量子阱本征晶体
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