ITO靶材的研究现状与发展趋势

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：MagicStone2005

【摘要】

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概述了ITO靶材的应用范围和日益增大的市场需求;对ITO靶材的加工技术和工艺进行了探讨,对ITO薄膜的特性进行了描述;并讨论了ITO靶材所面临的技术问题及发展趋势

【作者】

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【机构】

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北京有色金属研究总院

【出处】

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功能材料

【发表日期】

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2004年z1期

【关键词】

：

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